TSMC の 28nm プロセス

TSMCが28nmプロセスでSRAMの製造に成功したそうだ。

TSMC、28nmプロセスSRAMの製造に成功

ハイパフォーマンス向けではHKMGを導入している。ただし、以前まで開発を続けていたはずのゲートファースト方式ではなく、Intelが採用したゲートラスト方式によるものだそうだ。

一般的にゲートラスト方式の方がコスト高になると考えられているようだが、モノが出来なければ意味がないので、既に量産実績のあるIntel方式に近づけたというところだろうか。

以下は、関連記事。

TSMC，28nm世代のhigh-k/メタル・ゲートにゲート・ラスト方式を採用

こちらでは、ゲートファースト方式からゲートラスト方式への切り替えについても言及されている。